适用于高级 OEM 气体系统的理想产品

高灵敏度压力控制增强质量流量控制器 (MFC) 性能

在广泛应用中提供优越性能

流量:2SCFM 至 120SLPM

在微型元件中提供出色的压降和重复性

膜片与阀体之间采用金属对金属设计,实现一流的密封性

内部表面光洁度为 10Ra 或 5Ra 微英寸

符合 SEMI F19 和 SEMI 模块化接口规格

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