内部表面光洁度为 10 Ra 微英寸/0.25 微米
阀膜与阀体之间采用金属对金属密封，提供一流的密封性
内部经全面电解抛光处理
旨在减少半导体气体系统中的压力波动
满足严苛的半导体行业的使用点和
气瓶应用要求
天筹（上海）自动化设备有限公司
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64-3600 系列超高纯度、高灵敏度减压型调压器提供低压降、束缚阀膜设计，具备 10Ra/0.25 微米表面光洁度以及可选的 Hastelloy® 阀内件。入口压力为 600 或 3500psig（41.4bar 或 241bar），出口压力可高达 150psig (10.3bar)。非常适合用于 1/4" 使用点、气瓶柜、半导体制造和阀箱。
内部表面光洁度为 10 Ra 微英寸/0.25 微米
阀膜与阀体之间采用金属对金属密封，提供一流的密封性
内部经全面电解抛光处理
旨在减少半导体气体系统中的压力波动
满足严苛的半导体行业的使用点和
气瓶应用要求
