小金井(KOGANEI)在线过滤器PLF系列
发布时间:2017年3月27日 分类:技术百科 浏览量:1904
小金井(KOGANEI)在线过滤器PLF系列
●采用多孔中空丝膜滤芯,保证了同样情况下平膜小芯10倍以上的接触面积。
●过滤精度高、小型流量大、寿命长
●是适合于IC制造装置等吹气式终端过滤器
过滤精度 处理空气量 配管连接口径
0.01μm 50~100 l/min M5.Rc1/8
小金井(KOGANEI)选型资料

发布时间:2017年3月27日 分类:技术百科 浏览量:1904
小金井(KOGANEI)在线过滤器PLF系列
●采用多孔中空丝膜滤芯,保证了同样情况下平膜小芯10倍以上的接触面积。
●过滤精度高、小型流量大、寿命长
●是适合于IC制造装置等吹气式终端过滤器
过滤精度 处理空气量 配管连接口径
0.01μm 50~100 l/min M5.Rc1/8
小金井(KOGANEI)选型资料
