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SMC SMC比例阀

SMC 电气比例阀 E-P HYREG VY1

SMC VY1 系列 E-P HYREG 电气比例阀为高精度电子调压阀，通过电气信号实现精密压力调节，适用于半导体制造等高精度工艺。

高精度调压：电子调压方式，压力控制精度高
E-P HYREG：电气-气动混合调节，稳定性优异
半导体适用：满足半导体制造等高精度工艺要求
模拟/数字接口：支持多种电气信号输入方式

通过电信号无级控制压力。
气缸的推力控制。
喷嘴的风量控制。
气罐的压力控制。

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