小金井（KOGANEI）精密不锈钢调压阀PRS系列
 
液晶、半导体相关工序中的各种溶剂、纯水线路中传送气体的压力控制、喷气压力控制，洁净空气、气体压力控制等的高精度设定（感度0.001MPa）。
 
  
压力设定
  MPa            处理空气量      配管连接口径
0.01～0.25  0～250 l/min    M5～Rc1/4

小金井（KOGANEI）选型资料